目前，在國內應用廣泛、工藝技術較為成熟的蓄熱式熱氧化爐(RTO)主要為三室RTO（RTO工藝流程圖見圖1），即RTO分為三個蓄熱室，其中蓄熱室填充床為耐熱、耐腐蝕的陶瓷材料填充，確保RTO熱回收率在95%以上，以便更好的凈化去除VOCs。其工作原理是使生產過程中產生的VOCs（濃度小于25 %LEL）在800℃以上發生氧化反應，使其氧化生成二氧化碳（CO2）和水（H2O）；假如 VOCs中含有鹵素、硫等雜原子的有機物，則會氧化生成氯化氫(HCl)、二氧化硫(SO2)等氣體。首先廢氣通過管道經RTO進口閥進入第1個蓄熱填充床發生氧化反應燃燒分解，經燃燒室充分燃燒后的高溫凈化氣體通過第3個蓄熱填充床被冷卻后，部分冷卻凈化氣體吹掃第2個蓄熱填充床，部分冷卻凈化氣體經RTO引風機進入尾氣吸收系統，噴淋吸收后達標排放至大氣環境，三個蓄熱填充床依次經歷加熱(氧化分解)、冷卻、吹掃等三個步驟，通過RTO進口閥、出口閥、吹掃閥自動切換，周而復始，循環操作。

在增上RTO時，僅考慮RTO裝置本身對處理廢氣的適用性，而成套設備生產廠家僅提供RTO本體裝置部分，對前、后附屬處理設施未進行考慮，企業又未對設備配套進行正規設計，致使情況較為復雜的企業系統運行穩定性不夠，甚至發生事故。

RTO設施生產廠家，設計工況較理想化，只考慮本體設施工藝操作上的連鎖，附屬設施及安全設施方面未予充分考慮。比如未在上游廢氣出口設置濃度報警儀，無法及早知道廢氣濃度超標并及時采取措施避免爐堂溫度超高、尾氣溫度同時超高等連鎖反應。

去除不宜進入RTO的有機廢氣組分。如采用冷凝方式回收部分高濃度有機廢氣組分;設置水噴淋裝置吸收洗滌酸、堿類氣體，保證進入RTO有機氣體達到進氣指標要求。